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我市高新技术企业绿菱电子材料(天津)有限公司在高纯电子特气领域取得显著成效
来源:高新技术处 发布时间:2020-11-16 11:32

高纯电子级溴化氢是集成电路制造中的关键刻蚀材料,以前我国的生产技术与产品尚属空白。近日,绿菱电子材料(天津)有限公司依托天津市重点研发计划项目支持,开发了吸附-精馏纯化工艺,解决了设备腐蚀、痕量水脱除、微量杂质检测等技术难题,得到高纯5N级溴化氢,建成了100吨/年的生产装置。产品技术指标达到了半导体制程要求,得到了相关客户和专家的认可,保障了我国芯片制造的供应链。下一步,公司将进一步优化生产过程的工艺参数,尽快制定企业标准,在现有基础上做大做强,满足国家电子信息行业的重大战略需求。

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